Дуговое испарение

Дуговое испарение или Arc-PVD (также дуговое испарение , от английского arc , arc ') - это метод нанесения покрытия из группы физического осаждения из паровой фазы (PVD), а точнее метод испарения .

На левом рисунке показана дуга между воспламенителем и материалом катода и образование эктона. На правом снимке получившийся плазмотрон с вылетевшими частицами.

В этом процессе, дуга горит между камерой и мишенью, которая при отрицательном потенциале . Б. На наносимую заготовку ( подложку ) целевой материал плавится и испаряется. Мишень действует как катод, стенка камеры вакуумной камеры или определенный электрод действует как анод. Большая часть (до 90%) испаренного материала ионизирована . Пар материала (материал мишени) распространяется радиально от мишени , подобно термическому испарению . Поскольку к подложке также приложен отрицательный потенциал, пары ионизированного материала также ускоряются по направлению к подложке. Пар материала конденсируется на поверхности подложки . Из-за высокой доли ионизации в пар металла может быть введена высокая кинетическая энергия посредством соответствующих напряжений на подложке и мишени, так что на подложке может быть достигнут более или менее сильный эффект распыления . Это используется, среди прочего, для влияния на свойства (адгезия слоя, плотность, состав и т. Д.) Осажденного слоя.

литература

  • Дональд М. Маттокс: Справочник по обработке методом физического осаждения из паровой фазы (PVD): формирование пленки, адгезия, подготовка поверхности и контроль загрязнения . Нойес Пубн, 1998, ISBN 0-8155-1422-0 .
  • Андре Андерс: Катодные дуги - от фрактальных пятен до энергетической конденсации . Springer, 2008, ISBN 978-0-387-79107-4 .
  • Андре Андерс: Эволюция зарядовых состояний ионов в плазме катодной вакуумной дуги: обзор . В: Наука и технологии источников плазмы . лента 21 , нет. 3 , 1 июня 2012 г., стр. 035014 , DOI : 10,1088 / 0963-0252 / 21/3/035014 ( проект версия ).

Индивидуальные доказательства

  1. ↑ В. Кениг, Р. Фрич, О. Кнотек, Г. Кремер: покрытие твердых металлов методом дуговой сварки PVD и анализ функционального поведения во время обработки с прерывистым резанием . В кн . : Материаловедение и технологии . лента 24 , вып. 3–4 , 2004, с. 131-141 , DOI : 10.1002 / mawe.19930240312 .