Система нанопозиционирования
Система нанопозиционирования - это приводной механизм, который может многократно перемещаться в положения с нанометровым разрешением или меньше. Обычно он состоит из привода, который вызывает перемещение, системы измерения положения, которая определяет фактическое положение, и электроники управления положением .
Пьезоэлектрические приводы , свинец ниобат магния приводы, подвижные катушки привод и электромагнитные линейные двигатели пригодны в качестве приводов . Помимо привода, направляющая также должна быть без люфта и с низким коэффициентом трения. Пневматические подшипники используются для больших диапазонов хода; шарниры твердых тел также подходят для коротких диапазонов хода менее одного миллиметра . Как правило, в качестве системы измерения положения используются емкостные датчики .