Центр наноэлектронных технологий им. Фраунгофера
| Центр наноэлектронных технологий им. Фраунгофера | |
|---|---|
| Категория: | исследовательский институт |
| Перевозчик: | Общество Фраунгофера |
| Юридическая форма перевозчика: | Зарегистрированная ассоциация |
| Сиденье владельца: | Мюнхен |
| Членство: | Группа Фраунгофера по микроэлектронике |
| Расположение объекта: | Дрезден |
| Тип исследования: | Прикладное исследование |
| Предметы: | Инженерное дело |
| Области знаний: | Полупроводниковые технологии |
| Базовое финансирование: | Федеральное правительство (90%), федеральные земли (10%) |
| Управление: | Хуберт Лакнер |
| Сотрудник: | 60 (из 330) |
| Домашняя страница: | ipms.fraunhofer.de |
Fraunhofer Центр наноэлектронных технологий (НСТ), или Fraunhofer IPMS-CNT для краткости, является институтом Фраунгофера общества . Являясь одним из пяти направлений деятельности Института фотонных микросистем им. Фраунгофера (IPMS), Fraunhofer IPMS-CNT имеет собственную чистую комнату для услуг по тестированию и оценке материалов и процессов в полупроводниковой технологии в промышленных условиях. Доступны технологические системы для производства современных полупроводниковых изделий на пластинах диаметром 200 и 300 мм , в том числе для нанесения атомных слоев , химико-механической полировки , меднения и электронно-лучевой литографии (электронно-лучевая литография ).
Fraunhofer IPMS является членом многочисленных исследовательских сетей, в том числе Fraunhofer Group for Microelectronics (VµE).
история
Центр наноэлектронных технологий был основан 31 мая 2005 года в рамках государственно-частного партнерства между AMD (теперь Globalfoundries ), Infineon (позже Qimonda ) и Fraunhofer-Gesellschaft в качестве независимого учреждения. После банкротства Qimonda (2009 г.) не только был потерян один из основных партнеров по сотрудничеству и, следовательно, значительная часть финансирования, но и дальнейшее использование чистой комнаты площадью 800 квадратных метров на территории Qimonda также было под вопросом.
16 октября 2012 года Сенат Общества Фраунгофера решил больше не продолжать деятельность Фраунгоферского CNT в качестве независимого учреждения, а с 1 января 2013 года является частью Института Фраунгофера фотонных микросистем.
В августе 2019 года Infineon, которая тем временем снова стала владельцем бывшего помещения Qimonda, объявила, что Fraunhofer CNT будет использовать помещения (особенно чистую комнату) для собственных нужд. Последовали поиски нового помещения, которое было найдено на бывшем месте расположения компании Plastic Logic Germany GmbH недалеко от Globalfoundries. Переезд состоялся в 2020/2021 году.
Приоритеты исследований
- Разработка новых материалов и систем слоев для использования в производстве полупроводников.
- Метрология и аналитика - проверка расходных материалов и определение параметров и свойств слоев на производственной линии ( поточной ) и в лаборатории.
- Интеграция процессов и технологий для внедрения результатов исследований в производство:
- Энергоэффективные решения для хранения ( сбор энергии , литиевая батарея )
- Сегнетоэлектрическая оперативная память (FRAM)
- Энергонезависимое хранилище данных (NVM)
- Датчики MEMS
веб ссылки
- Годовые отчеты - Fraunhofer IPMS. В: Институт фотонных микросистем им. Фраунгофера. По состоянию на 27 марта 2021 г. (включая годовые отчеты «Центр наноэлектронных технологий»).
Индивидуальные доказательства
- ↑ Услуги по вафле 300 мм. В: Screening Fab Services: Центр наноэлектронных технологий (ЦНТ). 29 мая 2018, доступ к 27 марта 2021 .
- ↑ Открытие Центра Наноэлектронных Технологий Фраунгофера CNT, Infineon Technologies AG, пресс-релиз - PresseBox. 31 мая 2005, доступ к 27 марта 2021 .
- ^ Исследование банкротства Qimonda. В: Der Tagesspiegel. 20 марта 2009, доступ к 27 марта 2021 .
- ↑ Институт фотонных микросистем IPMS им. Фраунгофера (ред.): Годовой отчет 2012 . Дрезден 2013, раздел: ЦНТ Фраунгофера становится отделом Фраунгоферского IPMS , стр. 41 ( fraunhofer.de [PDF; дата обращения 27 марта 2021 г.]).
- ↑ Хайко Векбродт: Центр Фраунгофера переезжает в заброшенную фабрику Plastic Logic. В: Ойгер. 28 августа 2019, доступ к 27 марта 2021 .
- ↑ Институт фотонных микросистем IPMS им. Фраунгофера (ред.): Годовой отчет 2019 . Dresden 2020 ( fraunhofer.de [PDF; по состоянию на 27 марта 2021 г.]).